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                  AF藥液


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                  AF原液
                  AF藥丸
                  AF噴涂藥水

                  非標定制類


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                  箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

                  箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

                  銷售咨詢熱線:181 3605 7999

                  產品展示

                  項目

                  規格

                  主機尺寸

                  1955W x 1580D x 1750H mm

                  真空腔體尺寸

                  1020W x 1330D x 913H mm

                  電極板配置

                  16 片垂直電極板,15 個處理位置

                  有效區域

                  1100W x 615H mm

                  等離子體電源

                  10kw-20kw

                  電極溫度

                  35~95℃,模溫恒定控制,待機狀態也能保持溫度不變,省去預熱時間

                  工藝氣體控制

                  標配:
                  O2、N2:0~5000sccm;
                  CF4:0~400sccm;
                  Ar:0~2000sccm;
                  可選:
                  額外一路工藝氣體,流量范圍可定制

                  真空檢測

                  0.01Torr~760Torr

                  工作氣壓

                  0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

                  人機界面觸摸屏

                  中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權限分級;

                  真空泵組

                  選配

                  型號指示燈

                  三色指示燈,帶報警蜂鳴器

                  系統重量

                  ~3.5 噸,包含主機、泵組、模溫機

                  空間需求

                  4000 x 4000 x 2200(H)mm

                  電源需求

                  AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW

                  壓縮空氣需求

                  潔凈、干燥,0.5~0.8MPa

                  工藝氣體需求

                  0.3~0.5MPa,純度>99.9%

                  廠務冰水需求

                  20℃,20L/min (模溫機采用水冷式需求冰水,風冷式無該項)

                  抽風系統

                  >100 立方/min (模溫機采用風冷式需求熱排風,水冷式無該項)

                  廢氣管道

                  >3 立方/min,中央廢氣系統,DN50

                  環境溫濕度

                  20~30℃,30%~70%RH


                  上一條 已經是第一篇
                  下一條 真空卷對卷垂直式

                  本文標簽:

                  揚州國興技術有限公司
                  電話:181 3605 7999
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